等离子清洗机的结构组成，主要都是由两个部分组成：一是，等离子发生器，该部分由集成电路、运行控制、等离子发生电源、气源处理、安全防护等组成。 二是，等离子处理装置，该部分由激发电极、激发气路等组成。
常见的等离子清洗效果，采用接触角测量仪、达因笔、表面能测试墨水居多。
1.接触角测量仪是目前
等离子清洗机效果评估最为常见、业界最为认可的检测方法。测试数据准确、操作简捷、重复性和稳定性高。其原理就是通过光学外观轮廓的方法，在固体样品表面进行滴定一定量的液滴，量化检测液滴在固体表面的接触角大小，接触角小，说明清洗效果越好。早期时，很多实际评估
等离子清洗机时，会采用简易注射器滴水简单评估的办法，但是该方法只有在效果明显时才能观察到。
2.达因笔是企业采用较多的，操作非常简便的检测方法。
其原理是通过不同数值的达因笔，就是不同表面张力的液体，不同表面张力的液体在不同表面自由能的润湿和收缩来判断固体样品表面的表面自由能高低。但是该方法受不同厂家制作的达因笔、人为操作这些影响，重复性和稳定性较差。
3.表面能测试液则是和达因笔的原理是一样的。
