深圳市研睿科技有限公司

电话：0755-29093052
手机：13927438092 王先生
手机：15817411624 洪小姐
QQ：380557874
E-mail：szsyanrui@126.com
地址：深圳市光明新区公明李松蓢第三工业区博聚潜能工业园

行业新闻返回首页 > 新闻资讯 > 行业新闻 >

真空等离子设备在半导体上的清洗应用

作者：深圳市研睿自动化设备有限公司日期：2016-01-14 浏览：190

真空等离子处理机设备在半导体行业的应用是有着很成熟的先例的。IC半导体它的主要生产制程是在50年代以后发明的，起初是由于集成电路的各种元器件及连接线很精细，那么在制程过程中就容易出现灰尘，或者有机物等污染，极其容易造成晶片的损坏，使其短路，为了要排除这些制程过程中产生的问题，在后来的制程过程中导入了等离子设备进行前处理，利用真空等离子处理机设备是为了更好的保护我们的产品，在不破坏晶圆表面的性能的情况下来很好的利用等离子设备进行去除表面有机物和杂质等。这就是真空等离子设备在半导体行业的清洗应用

关键词：等离子处理机,载带包装机,USB绕线机,钢化玻璃贴合机,非标

上一篇：大气等离子：大气低温等离子体抛光技术原理